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【ASML官宣全新半导体技术：5nm工艺产能有望暴涨600%】

荷兰ASML公司近日在官网宣布，完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。

据介绍，HMI eScan1000能够同时产生、控制九道电子束，与单个电子束检查工具相比，将使吞吐量提高达600％。(IT之家)

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【阿斯麦表示向中国出口DUV光刻机无需许可证 但避谈EUV光刻机】

“根据当前法规，ASML（阿斯麦）无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统；对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户，ASML需获得许可证。”光刻机龙头ASML 总裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度财报说明会上对中芯国际等中国客户的出货情况做了解释。

ASML称，了解美国商务部对中国特定公司的要求，“ 我们旨在尽我们最大能力为全世界的所有客户提供服务和支持，同时遵守我们运营所在辖区制定的法律和法规。”不过，ASML并未提到有关最先进的EUV光刻机向中国出口的政策。

在被分析师问到美国禁令下其他半导体设备对中国晶圆代工的限制时，Peter Wennink 指出，有很多半导体设备都有替代方案。“当中国客户在看其他的半导体设备时，都有一些替代方案。例如，当涉及到EUV时，日本有很多工具；在检测设备方面，除了美国以外，在日本、荷兰甚至世界其他地区都有替代方案。对于中国公司而言，要找到光刻机的替代很困难，这是晶圆代工厂中最关键的工具，但目前的订购规则允许我们出货光刻机。“

今年三季度，ASML出货了10台EUV光刻机，另有四台则是上季度交付本季度确认收入。ASML当季来自EUV光刻机的收入占总收入的66%。“EUV首次超过DUV收入， 这进一步证实了EUV已进入大批量生产的节奏，并且是我们核心运营活动不可或缺的一部分。“ASML CFO Roger Dassen 指出。（第一财经）

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【中芯国际宣布斥资12亿美元买阿斯麦尔光刻机】

中芯国际发布公告称，公司就购买用于生产晶圆的阿斯麦（ASML）产品与阿斯麦集团签订购买单，根据阿斯麦购买单购买的阿斯麦产品定价，阿斯麦购买单的总代价为12亿美元（约合人民币78亿元）。此前有爆料称，中芯国际于美国的沟通取得重大突破，已经获得美国设备厂商的供应许可，14nm及以上（14nm及28nm等成熟工艺）的设备供应获得许可。

世界大型半导体制造设备厂商荷兰ASML于3月3日发布消息称，已延长与中芯国际（SMIC）的供货合同。美国以安保等理由敦促各国避免向中国大陆企业出口最新半导体制造设备，由于ASML提供的属于老式设备，并未成为限制对象。

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【中芯国际斥资12亿美元从ASML购买生产晶圆用产品】- cnBeta
【ASML与中芯国际延长合同 继续提供光刻设备】- 日经中文网
【ASML extends sales deal with Chinese chipmaker SMIC to end of 2021】- 路透社
【Clarification on SMIC volume purchasing agreement】- ASML